红外线灯管加热装置 RTP-6型
低价格，用于研究开发
RTP-6型最大的待测试样6英寸基板，并且价格低，用于研究开发领域的装置。RTP-6装置对于硅半导体，化合物半导体等，在试验过程中，具有气氛可变，高速加热，高速冷却的功能。本装置是最适合在研发过程中，手动操作。
●特长
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1. |
急速加热 |
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2. |
金属加热是由冷却水进行冷却，可进行急速冷却控制。 |
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3. |
加热炉有9个独立的温度控制区，具有良好的温度分布和再现性 |
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4. |
气氛可控 真空排气系统；选择部件 |
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5. |
气体可置换 真空排气系统；选择部件 |
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6. |
PC计算机进行数据管理。 |
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7. |
装有石英防融板加化加热室的安全性。 |
●技术指标
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均热精度 |
RT～1000℃（高温计可測范围 400～1200℃） |
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被 加 热 物 |
标准6英寸集成电路板 1块（4.5英寸集成电路板也可选择） |
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气 氛 |
标准 气体、气体流动中、大気中（真空也可选择） |
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加 热 方 式 |
用放物面反射红外线炉来加热上部的面 |
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最大加热速度 |
使用附带Sic碳素导线 10℃／sec
未使用附带Sic碳素导线时 50℃／sec（※用高温计来控制） |
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均热精度 |
使用附带Sic碳素导线 △t=10℃ 保持800℃ N2气体
未使用附带Sic碳素导线时 △t=10℃ 保持800℃ N2气体 |
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温度传感器 |
JIS K型热电偶（插入附带Sic碳素导线方式） |
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控制方式 |
闭环控制 |
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热排气 |
旋转式鼓风机排气方式 |
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电源 |
AC200V 25.4KVA 3φ |
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安全项目 |
冷却水量，热电偶断线，漏电，异常停机，加热室内过压 |
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